西漢置慮虒縣，屬太原郡。

三國(guó)屬魏國(guó)，隸并州新興郡。

北齊改屬雁門(mén)郡。

隋大業(yè)三年（607）改五臺(tái)縣，屬雁門(mén)郡。

唐、五代屬代州。

宋隸代州。

金朝時(shí)屬河?xùn)|北路代州。

貞祐四年（1216）升五臺(tái)縣為臺(tái)州，隸太原府。

元屬冀寧路。

明洪武二年（1369）廢臺(tái)州，復(fù)置五臺(tái)縣，屬太原府。

九年改屬代州。

仍轄于太原府。

清雍正二年（1724）代州升為直隸州。

1912年屬雁門(mén)道。

1937年抗日民主政府成立，屬第一行政區(qū)。

1945年改屬晉冀二專(zhuān)區(qū)。

1948年改屬晉中一專(zhuān)區(qū)。

1949年屬忻縣專(zhuān)區(qū)。

1958年忻縣、雁北二專(zhuān)署合并，屬晉北專(zhuān)區(qū)。

1961年復(fù)屬忻縣專(zhuān)區(qū)，1967年屬忻縣地區(qū)。

1983年屬忻州地區(qū)。

2000年屬忻州市至今。