清末屬朝陽都。
民國初期屬第三區(qū)。
1940年4月,抗日民主政府成立,屬榮成縣第三區(qū),同年12月改屬第六區(qū)。
1941年3月,縮區(qū)設鄉(xiāng),屬第五區(qū)。
1942年2月,屬雨山區(qū)。
1950年9月,屬第三區(qū)。
1951年3月,區(qū)下建三冢、耩上、蔭子、流水等鄉(xiāng)。
1955年復稱雨山區(qū)。
1957年1月,屬雨山區(qū)的蔭子、澗北、福祿3鄉(xiāng)。
1957年7月至1958年3月,撤區(qū)建鄉(xiāng),置蔭子鄉(xiāng)。
1958年9月,成立紅光人民公社,同年10月更名為蔭子人民公社。
1984年3月置蔭子鄉(xiāng)。
1993年10月19日撤鄉(xiāng),改建為蔭子鎮(zhèn),名稱沿用至今。